Een beeld van de EUV lichtbron in een chipmachine van ASML.
Volledig scherm
PREMIUM
Een beeld van de EUV lichtbron in een chipmachine van ASML. © ASML

Wetenschap snapt weer iets meer van EUV in machines van ASML

VELDHOVEN - Kan iets goed werken als je het niet helemaal snapt? Ja dat kan. De ingenieurs van ASML weten exact hoe je extreem ultraviolet (EUV) licht moet opwekken, maar zitten nog vol vragen over waarom dat dan gebeurt. Terwijl het Veldhovense bedrijf sinds kort miljarden euro’s omzet met chipmachines met EUV licht.

ASML heeft mede om die reden in 2013 Advanced Research Centre for Nanolithography in Amsterdam opgericht en financiert het instituut voor de helft. Samen met de twee Amsterdamse universiteiten en wetenschapsfinancier NWO. Onder leiding van Oscar Versolato onderzoekt een groep wetenschappers hoe het proces dat leidt tot het zo gewenste EUV licht precies werkt. Deze week publiceerden ze in wetenschappelijk tijdschrift Nature Communications een nieuwe stap in het begrip.